半导体工艺与器件仿真软件，用于模拟掺杂、氧化、刻蚀、光刻及电学特性，辅助集成电路和功率器件设计与分析。工艺仿真：氧化、扩散、离子注入、刻蚀与沉积器件仿真：电学、热学及光电特性分析与...