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半导体工艺与器件仿真软件,用于模拟掺杂、氧化、刻蚀、光刻及电学特性,辅助集成电路和功率器件设计与分析。

  • 工艺仿真:氧化、扩散、离子注入、刻蚀与沉积
  • 器件仿真:电学、热学及光电特性分析
  • 与EDA工具集成,支持版图驱动和参数提取
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