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半导体工艺与器件仿真软件，用于模拟掺杂、氧化、刻蚀、光刻及电学特性，辅助集成电路和功率器件设计与分析。
- 工艺仿真：模拟氧化、扩散、离子注入、刻蚀等步骤
- 器件仿真：计算电学、热学及光学特性
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